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Laserscale讀數(shù)頭BS78

型號:

更新時間:2024-06-15

簡要描述:

Laserscale讀數(shù)頭BS78 高速和高分辨率,同時保持穩(wěn)定,超密測量。適用于密工作臺、半導(dǎo)體/制造系統(tǒng)和超密加工機器

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Laserscale讀數(shù)頭BS78?

?

高速和高分辨率,同時保持穩(wěn)定,超密測量。適用于密工作臺、半導(dǎo)體/制造系統(tǒng)和超密加工機器。

?

高分辨率的尺度,信號音高約為。138nm,優(yōu)于光波干涉儀系統(tǒng)

高穩(wěn)定性,不受濕度、氣壓和空氣干擾的影響

參考點度:±0.1μm

刻度度:±0.04μm(測量長度:40mm)

非接觸式設(shè)計了返回錯誤。

殊的無磁性和真空兼容的型號

使用低膨脹玻璃:-0.7 x 10-6/℃(測量長度:10420毫米)

 

規(guī)格

型號BS78
測量長度10(only N/NS)/40/70/120/170/220/270/320/370/420
總長58mm (L=10mm:open type scale), L + 26mm (L= 40mm to 420mm)
L: 測量長度
可動長L + 2mm (L=10mm:open type scale), L +10mm (L= 40mm to 420mm)
L: Measuring length
度20攝氏度
  • NS type, RS type :
  • ±0.03μm (L=10mm : NS type)
  • ±0.04μm (L=40mm)
  • ±0.10μm (L=70/120mm)
  • ±0.18μm (L=170/220mm)
  • ±0.25μm (L=270mm)
  • ±0.34μm (L=320mm)
  • ±0.39μm (L=370mm)
  • ±0.44μm (L=420mm)
  • L: Measuring length
  • N type, R type :
  • ±0.06μm (L=10mm : N type)
  • ±0.08μm (L=40mm)
  • ±0.20μm (L=70/120mm)
  • ±0.35μm (L=170/220mm)
  • ±0.50μm (L=270/370mm)
  • ±0.65μm (L=420mm)
  • L: Measuring length
光柵間距 0.55μm
信號波長. 0.138μm (. 138nm)
原點度0.1μm (Only R/RS type)
原點位置

在中間,并每隔50mm從向左和

右側(cè)(BS78型號測量長度為320、370、420毫米:

距20mm,間距50mm)

原點檢出方向單方向
返回錯誤

這幾乎被了。它應(yīng)該被認為是

小于所使用探測器的兩個分辨率限制。

光源半導(dǎo)體激光器:波長790nm,輸出6mW
輻射功率DHHS class 1
原理衍射光柵掃描系統(tǒng)
作溫度1030?C(無凝結(jié))
儲存溫度-1050?C(濕度60%或以下)
響應(yīng)速度400mm/s(與BD96連接時)

Laserscale讀數(shù)頭BS78?

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